日本IKO进口精密半导体设备交叉滚子轴承异常声形成原因及鉴别方法
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日本IKO进口精密半导体设备交叉滚子轴承运转过程中出现的异常声，种类繁多，形成机理比较复杂，产生的因素是多方面的，而且各种异常声常常叠加在一起，难于分辨，其主要原因有如下几种：
（1）日本IKO进口精密半导体设备交叉滚子轴承内、外滚道存在磕碰伤，划伤或严重缺陷引起的周期性振动脉冲。
（2）滚动体表面磕碰伤，划伤等缺陷引起的非周期性振动脉冲。
（3）由于剩磁吸附铁粉末存在于滚道或滚动体上而引起的周期性或非周期性的振动脉冲。
（4）杂质或尘埃进入轴承滚道运行区域引起的非周期性振动的脉冲。
（5）滚动体与保持架兜孔之间的剧烈碰撞引起的非周期性振动脉冲。
（6）日本IKO进口精密半导体设备交叉滚子轴承润滑剂性能不良，滚动体与保持架兜孔之间的滑动摩擦以及滚动体运转时碾压润滑剂产生的振动脉冲。
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